科技帝国从高分子材料开始/科技最狂潮 第154节

　　意义太重大了，毕竟是国产光刻机啊，再也不用担心被卡脖子了！

　　潘荣成马上抓起电话，首先打给技术总监，让他立即带队进驻无锡七号线，准备接收来自长春的国产光刻机。

　　第二个电话打给秘书，订最早一班飞机，直飞长春。

　　他要亲眼目睹国产光刻机的诞生！

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　　时间已过午夜，位于长春光机所地下的实验室里，却传来一阵躁动。

　　“进去了！竟然进去了！”

　　“干得漂亮！位置调整的真准啊！”

　　“是啊，居然没有磨蹭，一步到位！这些昆仑集团的工程师，手法果然熟练！”

　　“不是吧，各位前辈，知道你们刚才在说什么吗？”

　　“当然在说昆仑集团的透镜啊，居然安装成功了。”

　　“你们真的是在说透镜？而不是开车？”

　　“呵呵，年轻人，虎穴排行榜这种东西，以后要少看，对身体不好。”

　　昆仑集团这套透镜，是为大功率光刻机准备的，所以体积要大一些，重量也更沉。

　　不得已，工程们只好对机台进行改装，这一过程浪费了不少时间，但幸运的是，改装很成功，新型透镜一次便安装到位了。

　　接下来，工程师们还要进行多项检测，检测结束，会尝试出片，出片成功，还要搬到无锡上流水线。

　　毕竟实验室出片的强度太低，几个小时，乃至于几天才出一片12寸晶圆。

　　而生产线就不同了，每天几百上千片晶圆的产量，机台如果能够顶住压力，实战成功，那才算真正的成功。

　　高原看了一眼时间，凌晨一点多了，检测完毕出片，起码也要明天一早，自己要不要休息几个小时呢？

　　毕竟等明天出片实验，就更没有时间休息了，而且就算自己能顶住，楚落落也不行，她的年纪还小，正长身体呢。

　　“高老板！”

　　高原正想催楚落落去睡觉，这时候他忽然听到身后有人叫自己。

　　回身一看，原来是华虹的老总潘荣成，一个电话过去，他竟然连夜赶到了，一脸诚惶诚恐的样子。

　　这就是差别啊，想想张江亮那厮的嘴脸，再看看潘荣成的态度，高原心中最后那点疑虑也烟消云散。

　　合作这种事情，态度很重要，大家在一起舒舒服服的，才能把事情做好。

　　算了，即便华虹落后中芯差不多两三年时间，但起码人家的态度端正，自己多费点心，把华虹的水平带起来就是，只当是培养合作伙伴吧。

　　相当这，高原伸手笑着说道：“潘总一路辛苦了，落落，快去拿瓶饮料过来。”

　　楚落落听话，去取矿泉水，长发在身后甩啊甩的。

　　潘荣成当场就震惊了，万万没有想到，高原竟然认得自己，还对自己如此客气。

　　接过楚落落递来的矿泉水，潘荣成心中一股暖流划过。

　　今后就好好合作吧，无论如何，一定要抱紧昆仑集团这根粗大腿，华虹能否实现绝地反超，就看这一次了。

　　高原很热情的向潘荣成介绍，机台刚改装完毕，调试完毕就要试着出片，华虹那边有没有准备好？

　　“我们绝对没有问题！”潘荣成信誓旦旦道：“技术总监已经连夜去了无锡七号线，带着我们公司最精锐的人马。”

　　高原微微颔首，“嗯，很好，我们这边再过几个小时，就可以试机了。”

第243章 超紫外激光！波长1.5nm！功率2000w！（1）

　　当北方的清晨亮起第一抹阳光，长春光机所地下实验室里，一场激动人心的实验，也终于开始了。

　　激光发生器开始预热，这是全套光刻机台中最核心的部件之一，由中科光电院设计制造。

　　激光光源射出后，首先会进入光束矫正器，矫正器共有三组，调整光束入射方向，让激光束尽量保持平行。

　　调整完毕的平行激光，会进入能量控制器。

　　顾名思义，能量控制器是调节激光功率的存在，控制最终照射到硅片上的能量大小。

　　像芯片这样的高精密制造业，无论曝光不足或者过足，都会严重影响出片质量，所以能量必须收到严格的控制。

　　能量控制器之后，是光束形状设置器，它可以设置光束形态，呈圆型，环型，散射型等等不同的形状，而不同形态的激光，又有着不同的光学特性。

　　光束形状设置器尾部，还有一组遮光器，在不需要曝光的时候，遮光器会把光束拦下来，防止光束照射到硅片上。

　　再然后是能量探测器，这个东西主要是检测光束功率的，它无法单独使用，而是将检测信号回馈给能量控制器，配合能量控制器进行功率调整。

　　调整完毕的激光束，会穿过掩模版，进入物镜。

　　掩膜版也叫光罩，简单来说呢，它就是一块内部刻着线路设计图的玻璃板，给硅片曝光用的，你想要什么样的半导体设计线路，就定制什么样的掩膜版。

　　掩膜版的价格和精度成正比，国内海凸版，无锡华润，中微，深圳清逸，路维，十三所，五十五所，自动化所等等，都可以做这个东西。

　　目前，华夏已经把基础型掩膜版价格，砸成了白菜价，帝都微电子所的2um光刻板，只要一千两百块，南京55所的一千一百块，精度1um的板子五千块，无锡华润略贵，两千块起步，但板子做的确实漂亮。

　　而要是精度达到纳米级别的板子，那可就相当昂贵了，根据业内小道消息，苹果公司给旗下m1型处理器定制的掩膜版，造价高达上百万美元。

　　掩膜版下方，是一种名为掩膜台的机械装置，它的作用是承载掩模版进行运动，控制精度为纳米级，为了达到苛刻的精确控制要求，长春光机所从昆仑集团采购了高精度极光电机。

　　在这套机台上，其实有很多技术和产品，都是来自昆仑集团，但最重要的部分，必须是掩膜台下方，巨大而又极端精密的物镜。

　　物镜由三十多块镜片组成，主要作用是把掩膜版上的电路图，按照比例缩小，再用激光映射的硅晶圆上，并且物镜还要主动补偿各种光学误差，控制曝光精度。

　　可以毫不夸张的说，物镜就是光刻机的心脏，如果物镜技术过关，哪怕掩膜技术差一点，光源功率弱一些，最终也能得到不错的结果。

　　但如果物镜技术不行，其他所有子系统就算造的再好，也没有任何作用。

　　毕竟光刻机的本质，是一套光学系统。

　　很多不了解半导体行业的同学，往往对其有所误解，真正的芯片制造流程，是激光透过物镜在硅片上曝光出来的，而不是用机器物理雕刻出来的。

　　高原目光扫过硕大的物镜时候，嘴角轻轻扬起一抹弧度，信心满满。

　　这套物镜来自系统那大猪蹄子的馈赠，绝不是把三十多片打磨好的玻璃拼接起来那么简单，除了精度，它还有着强大的功率补偿机制，容错机制。

　　也就是说，激光通过物镜后，功率可以得到一定程度提升，精度方面，则可以做到无限接近完美的程度。

　　总之就是很牛逼很强大的意思，开了外挂的物镜，效果杠杠的。

　　物镜下面，就是测量台和曝光台了，老式光刻机需要先测量，再曝光，而这种双工作台系统，则可以实现一片硅片曝光同时，对另一片硅片进行测量和校准，工作效率提高一倍以上。

　　目前世界上，只有荷兰asml掌握双工作台技术，长春这个机台如果量产的话，将是世界第二名。

　　整套机台最底部，是内部封闭框架和减振器，它们负责将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界振动干扰，并维持恒定的温度和压力。

　　这一点极其重要，毕竟是制造高精密芯片，哪怕最微小的震动，一粒尘埃，或者空气温度和湿度的差别，都有可能导致硅片曝光失败，或者前后两批芯片的性能不一致。

　　一台完整的光刻机，大体就是这样了。

　　听上去简单，其实却是人类历史上最复杂最精密的机台，没有之一。

　　放眼全球，能做到紫外的，只有asml，佳能，尼康三家，而能做到极紫外的，则只有荷兰asml，其余所有竞争对手，全部惨遭淘汰，消失在历史的长河中。

　　“开始！”

　　长春光机所的所长叫杜维明，随着他一声令下，全封闭绝尘实验室里，光刻机开始运行，大概也就十几秒钟过后，一片十二寸硅晶圆就被送下了机台。

　　其实，光刻机工作速度是很快的，每小时出片两百张以上，完全不存在任何问题。

　　制约产能的主要是沉积设备，PVD和CVD这类，其次是刻蚀设备包括ICP，CCP，DIE这几种机台，另外热处理设备工作效率也十分感人。

　　一条月产能一万片十二寸晶圆的fab制造线，光刻机或许只有四五台，但刻蚀机，却起码要有六十台起步，如果想要追求高效率，甚至要堆一百台以上的刻蚀机。

　　目前，中微半导体的介质刻蚀技术，硅通孔刻蚀技术，位列全球前三，全球最牛的半导体代工厂台积电，生产线上就有成百上千台来自中微的刻蚀机，算是国产半导体行业里比较争气的存在。

　　“成了！”

　　“一次出片成功，比我预想的还要顺利！”

　　“不愧是昆仑集团啊，临时加进来的光学系统，竟然和旧机台配合的这么好！”

　　实验室里，穿着全套无尘服的工程师，取下十二寸硅晶圆，仔细看，会发现上面出现了密密麻麻，无比繁杂的线条，灯光下亮晶晶的，甚是喜人。

第244章 超紫外激光！波长1.5nm！功率2000w！（2）

　　时间转眼就到了第二天。

　　测试结果非常喜人，昆仑集团的光学系统，包括最重要的物镜在内，一次就点亮了，并且成功流片。

　　但与此同时，这次实验也发现了不小的问题，中科光电院负责的光源，波长虽然达标，但却存在功率太低的问题，导致硅片曝光不够，即便用系统馈赠的光学系统和超级物镜，也没办法挽救。

　　“情况怎么样了？”

　　高原跑去睡了一觉，回到实验室打了个哈欠。

　　楚落落小脸煞白，这可怜的孩子，激动加担心，令她昨晚都没睡好，而高原就不同了，他不仅舒舒服服睡一觉，还顺便进入系统空间学习知识。

　　“还在调整光源，他们太拖后腿了，我看实在不行，就用咱们自己的光源吧！”楚落落心思单纯，也没有多想，当即说道。

　　高原蹙眉，看着实验室里，一群穿着白色防尘服的工程师，正在对光源发生器进行调试，整个测试也因此陷入停滞，大家都在等待。

　　看来他们的激光功率的确有问题，而且不像一时半刻能够解决的样子。

　　想到这里，高原走进了项目办公室。

　　由于是联合项目，各家老总都来了，所以办公室里人比较多，一个个都显得很疲惫。

　　“杜所长。”高原对长春光机所的杜维明说道：“这次我们带来了超紫外光源，实在不行，就先测试超紫外激光吧，光电所的深紫外放在后面测。”

　　高原带了光源，这件事他早就通报过的，在场的人都很清楚。

　　只是大家心里都有点疑惑，超紫外光源是个什么东西？以前没听说过啊！

　　光电所做的光源叫紫外，或者说深紫外激光，波长193nm，是目前全球应用最广泛的存在，从微米级芯片，一直到14nm芯片，都可以使用这种光源。

　　半导体代工巨头台积电，甚至用深紫外激光拿下了7nm工艺，令全球为之震撼，彻底打响了自己半导体领域第一天王山的名号。

　　所以中科光电所测试深紫外光源，高原一点意见都没有，这种光源虽然做不出顶级工艺，但胜在便宜啊，性价比高，并不是说高原拿出超紫外光源后，深紫外光源就不需要了。

　　合格的光刻机台，应该同时兼容好几种光源，好几种工艺，所以高原让中科光电所先测试深紫外光，打算等他们弄好了，再测试自己的超紫外。

　　谁知道光电所一整天下来，毫无进展，这让高原有点按捺不住了，提出让光电所的工程师休息一下，人有时候就是这样，越忙越忙，弄不好大家睡一觉，洗个热水澡，茅塞顿开，困难就解决了。

　　杜维明蹙眉道：“把光源发生器拆下来，再换上你们的，恐怕要大半天时间呢，要不再等等吧，光源又不是电灯泡，换来换去的很麻烦，而且每次拆装，精度还要再次校准。”