从学霸开始迈向星辰大海 第174节

将这项研究交给宁晨和徐洲等人，是非常合适的，因为他们之前便做过很多有关硅的技术，即便放眼全国，他们也算是硅材料领域的专家了。

听到宁晨的话，徐洲也点点头说道：

“是的，为了得到准确的光刻图案，我们必须要提高硅片刻蚀层的面型精度，以及微观表面质量。对于硅片的尺寸，我们有非常严格的要求。”

除了硅片的长、宽、厚度之外，硅片的局部平坦度需要控制在50nm之内，正面的微粗程度，更是要求保持在0.1nm的水平范围上，这是一项并不容易达到的技术要求。

大家经过一番讨论之后，制定了两种主要的研究方向。

第一种研究方向，是在常用的硅片平坦化技术的基础上进行改进。

目前市面上主要的硅片平坦化技术方法，包括热流法、旋转玻璃法、回蚀法、电子环绕共振法、化学机械平坦化等等。

这其中，化学机械平坦化是最为常见，也是最为成熟的方法，在这个方法上进行改进，相对来说也会更加的容易，更有可能取得研究的突破。

而另一种研究方向，便是创造全新的硅片平坦化技术。

这种研究方向并不容易，属于一种完全的创新，所需要做的工作也会多很多，但并不容易取得什么有价值的成果。

包括宁晨在内的实验室成员，也都倾向于第一种研究方案，只是同时保留了第二种研究方向的可能。

“今天回去之后，我们都考虑一下可以尝试的方案。我们优先对于化学机械平坦化的方法进行改进，明天早上来实验室一起讨论可能的实验方案。”

一天的时间，很难做出非常详细的实验方案，当然宁晨也并不是想用一天的时间去解决方案的问题，而是可以把时间线放长一些，只是需要大家每天都进行讨论罢了。

即便是宁晨，也不能仅仅凭借自己的力量去解决各种问题，还是需要与其他人进行交流与合作。

晚上，宁晨回到自己的书房，思考起有关化学机械平坦化技术的改进方案。

宁晨先是总结着，传统化学机械平坦化方法的各种缺点，并尝试着从这些角度上进行优化。

传统的化学机械平坦化技术，因为基于游离磨料、抛光垫和硅片之间的磨损机理，工艺参数比较多、加工过程不

是很稳定，不太容易实现自动化的控制，而且生产率也比较低。

与此同时，由于抛光垫是具有一定弹性的有机织物，在抛光时对表面材料去除的选择性不高，会导致产生包括过度抛光、氮化物腐蚀、碟形凹陷等各种各样的缺陷。

除此之外，传统的化学机械平坦化技术还有几种其他的缺陷，而这些都是有可能通过改进来获得提升的。

宁晨在脑海中，快速思考着这些问题的解决方式，同时结合着小智的模型化处理能力，来对自己的这些想法进行基本的测试。

经过一番高强度的分析和思考之后，宁晨突然想到了一种解决问题的方向。

“有了……如果能够在磨料中加入树脂结合剂，形成具有全新复合结构的抛光垫，代替传统化学机械平坦化技术中的游离磨粒和抛光垫，理论上就是可以达到更好的效果的！”

这样的方式，由于采用的是固结磨料抛光垫，其中并没有游离磨粒，可以大大减轻在平坦化过程中造成的磨损。

在经过小智模型化处理功能的验证之后，宁晨确定了这个方向的可行性的确很高，完全有可能解决传统化学机械平坦化技术中，存在的各项问题。

宁晨马上将整个方案整理了出来，当宁晨完成了这项工作之后，看了一眼时间，也不过才晚上十一点而已。

“真没想到，我能在今天晚上就把新的实验方案给做出来了。”

宁晨对于自己的速度也有些诧异，而且这还是在没有利用任何系统特殊技能的情况下，所达成的效果。

“看来，在脑力提升之后，我的思考速度又有了一些提升啊。”宁晨心说道。

虽然在任务刷新之后，宁晨的脑力指数也才提升了几点而已，但在脑力指数很高的时候，每一点的脑力指数提升，都可以带来非常明显的提升效果。

换做是以前，宁晨或许需要一天多的时间，才能够解决同样的问题。

第二天，大家来到实验室，徐洲按照昨天的计划，组织大家一起进行开会。

“隋枫，先说说你的方案想法吧。”

被徐洲第一个点到，隋枫明显有些不知所措。

“嗯……徐老师，我还是想先听听其他人的方案。”

其实隋枫昨天晚上并不是什么也没做，至少文档界面已经打开了，只不过只敲了“实验方案”四个字而已。

毕竟这个研究项目的级别非常之高，让隋枫一个博士生去做实验计划，确实有些强人所难了。

作为隋枫的老师，徐洲自然知道隋枫心里在想什么，继续追问道：

“没关系，今天的会议也不是让谁直接拿出完整的方案，我自己也只是有了一些不成熟的想法而已。隋枫，你昨天晚上想到了哪些，说哪些就好了。”

“嗯……我觉得还是在原有的化学机械平坦化技术上，再做出改进会

更好一些，就不要考虑其他的方法了……”

被徐洲追问，隋枫也只好说了一些没什么价值的废话，徐洲知道从隋枫口中问不出什么有价值的东西，也就只好作罢了。

“好了。原帅，你来说说看吧。”

原帅明显要比隋枫准备得充分许多，拿出准备好的笔记本，认真的讲述着自己昨天晚上的各个想法。

“徐老师，宁老师，隋枫师兄，昨天我回去之后，想到了一些不成熟的方案计划，还请你们能够指导纠正。我觉得虽然传统的化学机械平坦化技术已经较为成熟，但还是存在着一些可以优化的角度。比如说，平坦化处理的效率，成本、均匀性、可靠性、工艺控制能力等等。针对这些问题，我准备的应对方案是……”

听着原帅的讲解，宁晨和徐洲都不禁微微的点着头，表示着对原帅的认同。

虽然原帅并没有提出任何完整的解决方案，但每一条建议都是有一定的参考价值的。

宁晨相信，只要给原帅足够的时间，原帅还真的有可能做出一个不错的实验方案。

听完了原帅的讲述，徐洲高兴的说道：

“不错，仅仅是一晚上的时间，就想到了这么多，而且都是一些不错的意见。这样看来，我们很可能在一周之内的时间，就完成方案的计划。”

这个速度还是非常的迅速的，因为这样级别的项目研究，持续的时间通常是几个月甚至更长的，仅仅花费一个礼拜的时间就做好方案，已经是很快的速度了。

被徐洲当面表扬，原帅也表现得很谦虚，脸上依然是一副认真严肃的表情。

隋枫则是对此有些无奈，原帅虽然还没有来实验室多久，但能力和地位上，已经在悄然间超过自己了。

不过这也是没有办法的事情，毕竟原帅平时实在是太勤奋了，加上原帅的天赋也不错，超过自己也只是时机的问题。

接下来，徐洲又说了一下自己的想法，这些想法很多都与原帅有着相似之处，当然也有一些是原帅没有想到的地方。

原帅心里也不得不承认，徐洲还是比自己强出太多了的，自己还有很多地方需要跟徐洲进行学习。

说完了自己的想法之后，徐洲继续说道：

“最后，就请宁老师讲一下实验方案吧。”

之所以把宁晨放在最后一个，是因为徐洲知道，宁晨肯定要比自己想得更多、更全面。

虽然宁晨倒不至于在一个晚上的时间里，就把详细的方案全部都列出来，但至少也能够总结出好几条有价值的意见的。

宁晨却并没有直接说自己的想法，而是把自己的笔记本电脑，连接到了实验室的大屏幕上。

“徐老师，我准备的东西有些多，还是先看一下我的这份文档吧。”

宁晨知道以自己准备的东西，几分钟是无法说得清楚的，便没有急着进行讲解。

“嗯……这当然没问题。”

说这话的时候，徐洲心里也有些诧异，宁晨到底是准备了多少东西，还用得着连大屏幕都用上。

徐洲想着，宁晨总不会真的只花一个晚上的时间，就把这么复杂的实验方案给设计出来了吧？

第250章 遥遥领先！

可当徐洲看到宁晨投影到大屏幕中的文档后，却惊讶的发现，这真的是一个完整的实验方案。

虽然文档也只有几页，但这样篇幅的内容，已经足够展现一个实验的大致计划了。

“因为时间较为仓促，我这次的方案做得比较简略，而且只是针对化学机械平坦化的方案改进，还没有去考虑其他的方案。”

宁晨所说的确实是事实，可是想到这只是在一个晚上所做出的方案，大家还是觉得非常的不可思议。

“如果让我概况性的总结的话，我把这种方法称作为：固结磨料化学机械抛光技术。这是在化学机械平坦化基础上进行的改进，主要的优化方式，是在磨料中加入树脂结合剂，从而改善传统化学机械平坦化方法的一些缺点……”

听着宁晨的讲述，徐洲等人很快便理解了宁晨这个方法中的精髓所在。

这个方案乍一看上去，似乎并没有什么特别之处，但却非常巧妙的利用了树脂结合剂的性质，让传统方案的种种问题得到解决。

因为昨天晚上的时间确实有些匆忙，宁晨并没有把很多详细的东西，都体现在文档之中，而是在刚刚的讲解中直接讲述了出来。

其实宁晨的整个实验方案是非常详细的，已经考虑到了文档中很多没有标明的细节，如果宁晨愿意的话，完全可以把这篇文档的字数再提升几倍。

听完了宁晨的讲述之后，徐洲、原帅、隋枫等人，一时都不知道该说些什么好了。

徐洲本来以为的，在一个礼拜之内就完成实验方案计划的设想，明显有些太过保守了。

按照宁晨这个实验方案的水准，他们完全可以在明天就开始实验。

原帅则是再次意识到了，自己和宁晨的巨大差距。

即便是能力大大提升之后的原帅，与宁晨之间，也还差了至少好几个徐洲。

隋枫倒是显得稍微平静一些，因为对于宁晨的神奇之处，隋枫早就领教过太多遍了。

其实隋枫之前就觉得，实验组里只要有宁晨在，其他人根本就没必要浪费时间去思考实验方案，直接让宁晨一个人去解决问题就可以了。

不过隋枫也知道，要是自己真的这么说的话，那么徐洲一定是会狠狠的批评自己一顿的。

这个时候，徐洲率先打破了沉默，说道：

“我觉得宁老师的这个方案非常不错，不仅包含了我和原帅提出的一些方向，而且还有很多其他具有建设性的改进方法。我们可以直接基于宁老师的这个方案进行讨论，然后就准备后续的实验了。”

接下来的时间里，大家又一起针对宁晨方案中的一些细节进行讨论，并逐步确定了实验的安排。

……

经过一个阶段的实验之后，宁晨等人已经成功将他们的方案呈现了出来。

在完成测试工作之后

，大家惊讶的发现，仅仅是第一个阶段做出来的硅片，各项性质就远远强于通过传统化学机械平坦化方式加工出来的芯片。

这样的实验结果，让实验组的成员们不禁欣喜了起来。

“经过改进后的方案，平坦化的效率提升了很多，材料去除率几乎达到了传统方案的三倍。而且新方案的工艺量变少了许多，加工过程更加稳定，具有很强的可重复性，非常容易实现自动化的工艺。”

有了这项技术的突破，宁晨知道这距离华国独自制先进的芯片，又前进了关键的一步。

而另一个让宁晨感到高兴的消息是，华威公司这边已经完成了光刻厂的选址，并开始了光刻厂的建设。

华威公司的速度要比宁晨想象中的快很多，看得出华威对于这件事情也是非常的重视，希望自己能够早一些解决芯片制造的技术问题。

到了这个时候，宁晨知道，已经可以考虑发布星辰OS系统的事情了。

现在华威与星辰科技，在某种程度上已经成为了利益共同体，既然华威下定决心想要独自完成芯片的制造，那么这注定是一条无法回头的道路。

无论之后的实验是否顺利，大家也只能继续在这条路上前进，直到他们能够制造出高精度的芯片。