科技强国从升级镜头开始 第157节

　　既然摄像头的性能过剩，处理器的性能不够，那不如用摄像头过剩的性能，帮他们先预处理一下数据。

　　当然，这么做的话，摄像头的极限性能肯定就发挥不出来了，

　　最多只能把原本60%的性能，提升到80%。

　　康驰迅速写下了这个临时过渡方案，并拆分给了双方的技术小组。

　　因为cmos是大秦光学开发的，对它的性能和设计都最熟悉，所以这项优化工作也由贺勇彬来主导。

　　(本章完)

第182章 救星来了！

　　临安，苏省大学微电子学院。

　　“通入六甲基二硅胺烷……”

　　“硅片脱水完成，增粘处理完成，开始旋转涂胶。”

　　“……”

　　这已经是他们不知道进行了多少次的实验流程了，除了操作员时不时进行流程汇报之外，实验内悄然无声。

　　数十名研发人员都静静地坚守着自己的岗位，偶尔抬头看一眼设备运行情况，以及站在操控台中间的那位老人。

　　“涂胶检测完毕，未发现气泡，开始曝光前烘……前烘完毕，光刻机准备曝光……”

　　在实验有条不紊的推进中，终于到了曝光环节。

　　每次进入曝光环节，那短短的十秒钟，都让吴利鸿感觉像一个世纪那么长……

　　而在曝光的过程中，加装在工件台的的测量仪器也在同时进行疯狂的数据收集。

　　“曝光结束，进入后烘环节，曝光数据正在分析中……”

　　“曝光过程总产气量……”汇报结果的研究员停顿了一下，然后用颤抖的语气念出了数值，“289立方纳米！”

　　哗——！

　　听到这个结果，整个实验室都顿时安静了下来，随后便是阵阵惊呼声。

　　“竟然真是光致产酸剂br-侧键的问题！”

　　“吴院士牛逼啊！”

　　“……”

　　虽然后烘的具体数据还没出来，但光是这个产气量的数据，就已经称得上是史无前例的重大突破了！

　　涂满12寸的硅片光刻胶，在曝光的过程中，才产出了仅仅289立方纳米的气体，

　　而这么小的产气量，光刻胶的曝光边缘肯定非常光滑平整。

　　这就意味着更高的清晰度，以及更低的制程。

　　可以说，他们已经彻底解决了光刻胶最棘手的产气量问题！

　　吴利鸿听到这个数据后，脸上也不禁浮现起了一抹如释重负的笑容，但这却让他的脸上的皱纹褶子更多了……

　　过了大约十分钟，曝光后的硅片也已经完成了后烘，并对曝光部分的光刻胶进行了溶解清除，然后又进行了一次坚膜烘焙，加固光刻胶形成的电路保护膜。

　　接下来，就是他们这个实验环节最重要的电路图像清晰度分析了。

　　而最终的分析结果也果然不出他们所料，在降低了98%的产气量后，他们得到的电路保护膜，表面非常光滑平整，没有出现任何坍塌变形！

　　“膜厚正常，套刻精度正常！”

　　听到这个结果，所有人顿时都激动的看着吴利鸿。

　　事实上实验进行到了这一步，已经基本可以肯定他们的euv光刻胶，已经达到了纳米的制程标准。

　　因为他们苏省微电子的所有精力，都用来研发光刻胶了，对多重曝光等压缩制程的工艺，没有太多的研究，所以纳米只是他们研究所的最小制程工艺。

　　而这款光刻胶具体的最小制程，得找申城硅产业或者立昂微来做进一步的验证，尤其是最早拿到euv光刻机的申城硅产业，经过这几个月的摸索调试，他们已经把制程工艺推到了5nm。

　　不过为了稳妥起见，吴利鸿还是按捺住激动的心情，对大家开口道：“立即准备蚀刻实验验证，确认最后的环节没问题再送到申城硅产业去。”

　　“明白！”

　　研究员们听到后，顿时又开始忙碌了起来。

　　本来按照他们之前的实验流程，实验到了这一步基本就是失败了，这次其实根本就没有做好进入蚀刻环节的准备。

　　但面对这个意想不到的巨大惊喜，大家却没有一丝‘临时加班’的怨言，一个个都吭哧吭哧地开始重新准备实验。

　　两个小时后，最终结果终于出炉了。

　　他们研发的光刻胶，成功地经受干法刻蚀中高能粒子的洗礼，顺利完成了保护硅片基底的任务，芯片良品率高达98%！

　　在吴利鸿院士的带领下，苏省大学微电子研究员，终于成功研发出了一款能胜任制程的国产顶级euv光刻胶！

　　而且这个纳米制程，只是目前的初步实验结论。

　　从他们这次得到的套刻精度来看，这款光刻胶实际上有相当大的可能，可以胜任5纳米制程芯片的制造！

　　吴利鸿也非常沉得住气，没有选择立即将实验结果上报上去，而是让研究员们按照上次的配方，重新调配了一批光刻胶。

　　然后重复做了足足十次实验，确认每次的结果误差都在可接受的范围内后，才带着光刻胶和团队的主要技术人员飞往魔都，来到了申城硅产业集团。

　　此时的申城硅产业的集团总裁陈云明恰好在和华威的余总和何总，讨论华威p6的芯片代工问题。

　　而双方讨论的要点，就是产量和成本的问题。

　　华威本着量大从优的道理，想要直接订购两千万枚麒零9000。

　　但申城硅产业现在，其实也就只有一台秦光一号。

　　按照秦光一号每小时180片的硅片吞吐量，以及制造出的每片晶圆可以切割出500枚芯片来算，一台光刻机每天的产能应该有216万枚。

　　但实际上，光刻机的吞吐量不代表晶圆的制造速度，而是要根据不同芯片的设计，进行多次曝光和蚀刻。

　　以麒零9000为例，它需要经过足足19次光刻-蚀刻循环，才能完成整个晶圆制造环节，

　　也就是说，每天理论上只能造11万枚。

　　这还是建立在设备24小时不停机休息和维护，以及100%良率的基础之上。

　　因此实际产能，平均每天能有8万枚，就已经很不错了。

　　两千万枚芯片的订单，要差不多八个月才能完成，还是把所有产能，都压榨给华威的情况下。

　　何况在如此高负荷的运转下，他们光刻胶的库存，都不知道能不能撑得住……

　　“……我们也得考虑成本，也要时间来研发3nm的制程工艺，希望你们也能考虑一下我们的难处。”

　　陈云明实在有点受不了两位老总的软磨硬泡，最终拍板道，

　　“要不就这样吧，我给你两个方案，一个是150元300万枚，一个是200元600万枚，600万是极限，已经很够意思了。”

　　“呃……”

　　余总立刻在心里算了一笔账。

　　按照台机电5纳米制程，13400美元/片晶圆的价格来算，约等于每枚5nm制程的芯片代工费，是187元。

　　但台积电的代工是按晶圆来算的，废品都给你算钱了，而陈云明刚刚报的是当个芯片价格，等于去掉了废品，所以150-200元的代工费，在这个特殊时期，确实相当厚道了。

　　“可是陈总，这买卖哪有越多越贵的道理……”

　　“这不是情况特殊嘛，如果在库存光刻胶消耗完之前，国产光刻胶没有动静，那我们有光刻机也没得用啊，只能先省着点花了……”

　　“其实还有个办法，就是伱们去找康博士借点光刻胶给我们，那小子贼精得很，早早地就让我们帮他屯光刻胶了，现在大汉芯业的光刻机屯得比我们还多！”

　　每每想到这里，陈云明都有点后悔当初没有听康驰的，提前多屯点光刻胶。

　　主要是，当初谁能想到他能这么快搞出euv光刻机……

　　就在余总还在考虑着，六百万枚到底能撑多久的时候，陈云明突击接到了吴利鸿的电话。

　　“吴院士？等等……你说什么？测试光刻胶？就到楼下了？！”

　　“……”

　　放下电话的陈云明，过了半响才缓过神，然后连忙打了个电话给董建元，让他下去接吴利鸿。

　　处理完这些后，他才转头看向华威的两个老总，一脸激动地说道：“我们的救星来了！”

　　(本章完)

第183章 宝刀未老，锋芒不减

　　“5nm的良率78%！？”

　　当听到苏省大学微电子学院研发出来的euv光刻胶，已经在申城完成了5纳米实验后，康驰顿时就激动地站了起来，

　　提高的了音量，也立即吸引了大量的目光。

　　“嗯，78%的良率稍微有点低了，所以估计最多也就是5nm了，用来搞3nm良率很可能连50%都不到。”

　　“吴老师，这就是你的不对了。”康驰立即一本正经地说道，“咱们做人不能太贪心，总能一口吃成大胖子吧？”

　　“而且良率这东西，也不是光看光刻胶的，其它因素影响也很大，他们用小本子的光刻胶，良率估计也不会超过85%吧？”

　　“嗯，他们原本的良率刚好是84%，我们这个其实就低了6%，如果调试好的话，有希望达到80%以上……不过话说你小子，最近说话越来越像大领导了啊。”

　　“哎，别说了，我要真是大领导，哪里还要去别人公司打工？”康驰叹了口气，“这下可以让王师兄毕业了吧？”

　　“嗯，你放心吧，明天就把人给伱。”

　　吴利鸿笑着看了看他旁边的王浩文，然后捂着话筒小声说道，

　　“这次光刻胶的突破，他也是出了很大力的，小脑瓜子灵活人也勤奋，他要是愿意留在我们研究所和大学任教，以后指不定就是个长江院士，说实话，我还真有点舍不得放给你……”

　　“那你倒是给人家开百万年薪啊。”

　　“……”

　　吴利鸿张了张嘴，无力反驳。

　　现在是金钱社会，别说他们年轻人掉钱眼里了，他之前被削经费不也急得跳脚嘛。

　　所以对于王浩文逐利的选择，吴利鸿也没说什么。

　　而且去了康驰那边，将来的成就，说不定比跟着他还高，尤其是他还准备退居二线了。